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貴州潔凈室設(shè)計(jì)
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貴州電光凈化車間設(shè)計(jì)方案應(yīng)注意的問(wèn)題

2019-07-27


貴州電光凈化車間設(shè)計(jì)方案應(yīng)注意的問(wèn)題


貴州萬(wàn)凡環(huán)保工程有限公司電子清潔車間工程的主要特點(diǎn)是:1。車間面積大;2.可變性;電子和光學(xué)行業(yè)的快速技術(shù)創(chuàng)新,生產(chǎn)過(guò)程的變化,以及車間布局的變化。因此,在貴州電子潔凈廠房的設(shè)計(jì)中,應(yīng)注意平面上的固定分隔,特別是小分隔。


電子光學(xué)凈化車間設(shè)計(jì)中應(yīng)注意的問(wèn)題


(1)平面由工藝確定。貴州凈化工程車間工藝布置應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品開發(fā)的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需要。

(2)主體結(jié)構(gòu)采用大空間大跨度柱網(wǎng),不采用內(nèi)墻承重體系。

(3)電子工業(yè)大型潔凈廠房中經(jīng)常采用上技術(shù)夾層和下技術(shù)夾層的“夾心式”多層結(jié)構(gòu)。

(4)考慮大型生產(chǎn)工藝和設(shè)備的安裝維護(hù)要求,設(shè)置必要的運(yùn)輸走廊和不影響清潔生產(chǎn)環(huán)境的安裝檢修口。

(5)電子凈化車間按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)。

(6)特殊氣體的儲(chǔ)存和分配應(yīng)與潔凈室(區(qū))分開,墻壁的耐火極限不應(yīng)小于1h,有毒硅烷或其混合氣瓶的儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)至少三面開放。氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄的距離應(yīng)大于3m,儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)設(shè)置不小于3.5m的雨棚。

(七)電子凈化車間的裝飾材料不得使用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響的材料;

(8)電子光學(xué)潔凈室車間允許空氣淋浴間,與一般生物潔凈室不同。淋浴間應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人淋浴房最多可容納30人。當(dāng)員工人數(shù)超過(guò)5人時(shí),應(yīng)設(shè)置側(cè)門。當(dāng)人數(shù)過(guò)多或?yàn)榱丝s短通行時(shí)間時(shí),也可設(shè)置隧道式淋浴房。

( 9 )貴州潔凈室設(shè)計(jì)的潔凈廠房,為盡量不影響氣流的單向性和平行性,采用純凈淚珠形燈具。

(10)貴州凈化車間應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置靜電防護(hù)環(huán)境,以抑制靜電的產(chǎn)生,快速、安全地消除靜電。

(11)貴州無(wú)塵車間對(duì)微振動(dòng)防護(hù)有特殊要求,在工廠環(huán)境中應(yīng)避免使用振動(dòng)源。

(12)除一般給排水要求外,電子凈化車間超大型集成電


無(wú)塵車間


電子光學(xué)潔凈廠房環(huán)境參數(shù)

參數(shù)數(shù)值描述

截面風(fēng)速/(m/s)0.3-0.5

0.2-0.4清潔度1-3級(jí)(ISO)潔凈室

清潔度等級(jí)4-5(ISO)潔凈室

通風(fēng)頻率/(次/h)50-60


15-25歲

10-15清潔度6級(jí)(ISO)潔凈室

清潔度7級(jí)(ISO)潔凈室

清潔度等級(jí)8-9(ISO)潔凈室

靜壓差/pa>5

>10.不同級(jí)別的潔凈室之間以及潔凈室和非潔凈室之間

在潔凈室和室外綿羊之間

溫度/C.18-22歲


16-20歲

根據(jù)具體項(xiàng)目要求24-26

26-28歲

根據(jù)具體項(xiàng)目要求,無(wú)工藝要求的生產(chǎn)環(huán)境

人員凈化及起居室

需要工藝時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境

無(wú)工藝要求的生產(chǎn)環(huán)境

人員凈化及起居室

需要工藝時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境

相對(duì)濕度/%

冬天

夏季30-50

根據(jù)具體工程要求


50-70歲

根據(jù)具體項(xiàng)目要求,無(wú)工藝要求的生產(chǎn)環(huán)境

需要工藝時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境

無(wú)工藝要求的生產(chǎn)環(huán)境

需要工藝時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境

新風(fēng)量/[m3/(人.h)40

噪聲/db(a)<65潔凈室單向流和單向流與非單向流共存

照度/1X 300-500

200-300非單向流潔凈室主要生產(chǎn)室(光刻及低照度顯示裝置除外)

其他房間

照明均勻度0.7

靜電表面電阻率1*105-1*1010一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)1*105-1*107

靜電體積電阻率1*104-1*109

地對(duì)地漏電電阻*105-1*108

靜電電壓小于50(45%相對(duì)濕度)4級(jí)(ISO)或以上的清潔室

振動(dòng)速度

振動(dòng)加速度

振幅

相對(duì)位移是根據(jù)工藝或精密設(shè)備、儀器的特性或參照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》確定的。

潔凈室上方電磁干擾等級(jí)4(ISO),潔凈室靠近高壓輸配電設(shè)施時(shí)尤為重要。

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